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       低溫等離子體是繼固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)之后的物質(zhì)第四態(tài)，當外加電壓達到氣體的放電電壓時(shí)，氣體被擊穿，產(chǎn)生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。放電過(guò)程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個(gè)體系呈現低溫狀態(tài)，所以稱(chēng)為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時(shí)間內發(fā)生分解，并發(fā)生后續的各種反應以達到降解污染物的目的。

　　等離子體反應區富含物質(zhì)，如電子、離子、自由基和激發(fā)態(tài)分子等，廢氣中的污染物質(zhì)可與這些具有能量的物質(zhì)發(fā)生反應，使污染物質(zhì)在極短的時(shí)間內發(fā)生分解，并發(fā)生后續的各種反應以達到講解污染物的目的。與傳統的電暈放電形勢產(chǎn)生的低溫等離子技術(shù)相比較，等離子體技術(shù)放電量是電暈放電的50倍，放電密度是電暈放電的130倍。所以,傳統低溫等離子體技術(shù)只能用于室內空氣異味治理,與其他低溫等離子體技術(shù)相比較，等離子體技術(shù)是用于工業(yè)化工藝廢氣治理的技術(shù)。